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首次加入EVU极紫外光刻!台积电二代7nm+工艺已量产

发布时间:2019-05-26 11:47:04
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  台积电官方宣布,已经开始批量生产 7nm N7+ 工艺,这是台积电第一次、也是行业第一次量产 EUV 极紫外光刻技术,意义非凡,也领先 Intel、三星一大步。

  台积电表示,7nm+ EVU 工艺的良品率已经提高到和初代 7nm 同样的水平,将今年带动 7nm 工艺芯片的产能显著提升。

  台积电预计 2019 年的总产能折合可达 1200 万块 300mm 晶圆,其中 7nm 工艺的会有 100 万块,比去年猛增 150%。

  根据此前消息,华为麒麟 985 将率先应用台积电 7nm+ EUV 工艺,有望用于 Mate 30 系列。尽管遭遇美国限令,但是台积电方面已经明确表示,至少目前不会停止向华为供货。

  另外,苹果的 A13 也已经锁定台积电 7nm+,今年的新 iPhone 就靠它了。

  台积电还透露,正稳步推进下一代 5nm 工艺,全面应用 EUV 技术,已经开始风险性试产,预计 2020 年第一季度量产。

  位于台湾南部科技园的新工厂 Fab 18 已经开始设备搬迁与安装,将在明年投产时直接上马 5nm,并为未来的 3nm 工艺做好准备。

  另外台积电还有个过渡性质的 6nm 工艺,基于 7nm 改进而来,预计 2020 年第一季度试产,非常适合现有 7nm 工艺用户直接升级。

首次加入 EVU 极紫外光刻!台积电二代 7nm+ 工艺已量产

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