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中芯国际回应ASML断供光刻机:EUV还在纸面上,一切正常

发布时间:2019-11-07 17:49:25
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  作者:远洋

  IT 之家 11 月 7 日消息 针对荷兰 ASML 公司延迟出货 EUV 光刻机的报道,中芯国际刚刚也作出了回应,称“极紫外光(EUV)还在纸面工作阶段,未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前,研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。”

  早些时候 ASML 也澄清称,关于日经新闻(NIKKEI)有关中芯国际相关报导有误,“延迟出货”仅为其媒体推测,ASML 从未评论或确认,对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述,表示抗议。

  ASML 表示,对全球客户一视同仁。根据瓦圣纳协议,ASML 出口 EUV 到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML 已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。

  据了解,中芯国际目前量产的最先进制程为 14nm,12nm 已经取得重大突破。而 EUV 光刻机主要用在 7nm 及以下制程。

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