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if (!isChecked) {    
		// 显示密码    
		et_password.setInputType(InputType.TYPE_TEXT_VARIATION_VISIBLE_PASSWORD);     
 }else {    
		// 隐藏密码    
		et_password.setInputType(InputType.TYPE_CLASS_TEXT | InputType.TYPE_TEXT_VARIATION_PASSWORD);    
}    
//设置光标位置
et_password.setSelection(et_password.getText().length());

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原文：http://blog.csdn.net/mingyue_1128/article/details/37651793